기압 센서

기압 센서란?

기압 센서란 대기의 압력을 검지하는 센서입니다.
압력 센서에는 측정하는 압력치 등에 따라 하기와 같은 다양한 재료 및 방식의 센서가 존재합니다.
이러한 압력 센서 중, 대기압을 검지 (기압 검지 목적)하는 센서를 일반적으로 기압 센서라고 부릅니다.

기압 센서의 대표적인 방식은 실리콘 (Si) 반도체를 사용한 피에조 저항 방식입니다.
로옴이 취급하는 기압 센서도 이러한 피에조 저항 방식의 기압 센서입니다.

피에조 저항 방식의 기압 센서

피에조 저항 방식의 압력 센서는 Si 단결정판을 다이어프램 (수압 소자)으로 하여, 그 표면에 불순물을 확산시켜 저항 브릿지 회로를 형성, 압력이 가해졌을 때의 저항 브릿지의 변형을 저항치 변화로 검출하여, 압력 (기압)을 산출합니다.

이 저항이 가해진 압력에 따라 저항률 (전기 도전률)이 변화하는 현상을 피에조 저항 효과라고 부릅니다. 로옴의 기압 센서 IC는 이 피에조 저항식 수압 소자 (다이어프램 구조와 피에조 저항을 집적한 MEMS^※)와 온도 보정 처리, 제어 회로 등을 포함한 집적 회로 (ASIC^※)를 1패키지화하여, 고정밀도 기압 정보를 간단히 취득할 수 있습니다.

※ MEMS : Micro Electro Mechanical System (미세 전기 기계 시스템)
기계 요소 부품, 센서 및 액추에이터 (구동부) 등을 1개의 기판에 집적한 디바이스입니다.

※ ASIC : Application Specific Integrated Circuit (특정 용도의 집적 회로)
특정 용도를 대상으로, 여러 개의 회로 기능을 1chip에 집적한 회로입니다.