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박막 피에조 MEMS피에조 관련 용어

 

피에조 관련 용어

피에조에 관련된 용어에 대한 간단한 설명입니다.

용어 설명
피에조 (Piezo) 압전 소자 (piezoelectric element, piezoelectric device)
압전 효과 힘 (압력)을 가함으로써 전압이 발생하는 현상
역압전 효과 전압을 가함으로써, 변형이 나타나는 현상
압전 소자 압전 효과, 역압전 효과를 이용한 부품, 디바이스
센서 과학적 원리를 응용하여, 현상 및 정보 등을 전기 신호 등으로 치환하는 장치
액추에이터 전기 등의 에너지를 기계적인 움직임으로 변환하여, 기기를 동작시키는 구동 장치
이온 전자의 과잉, 또는 결손으로 인해 전하를 띄는 원자
압전 재료 압전성을 나타내는 결정성 물질의 총칭
압전 단결정 압전 재료 중에서, 재료 내부의 결정 구조가 균일하게 연속되어 있는 것
압전 세라믹스 압전체 중에서, 그레인 (Grain) 구조 및 도메인 벽 (Domain Wall) 구조를 지닌 것
그레인 (Grain) 구조 다결정체에서 2개 이상의 작은 결정 사이에 존재하는 계면
도메인 벽 (Domain Wall) 구조 결정 내에 분극 방향이 다른 경계가 존재하는 구조
분극 전장 및 자계 환경에서, (+) (-)의 전화 (電化)가 나타나거나, 자극이 발생하는 현상
PZT 티탄산 지르콘산 연 (PbZrxTi1-xO3) (0<x<1)
스퍼터링 (Sputtering) 금속 표면에 높은 에너지 입자를 접촉시켜, 분출되는 원자를 사용한 성막 방법
CSD 금속의 유기산염 및 화합물의 용액을 도포 · 소성 (焼成 / 베이킹)하여 박막을 형성하는 방법
졸겔 (Sol-gel) 법 CSD의 일종. 졸 상태의 액체를 가열하고 소성 (焼成 / 베이킹)하여 박막을 형성하는 방법
졸 상태 액체를 분산매로 하는 콜로이드 (예 : 비눗물, 풀, 달걀 흰자, 우유, 마요네즈 등)
겔 상태 졸 상태의 유동성이 없어진 상태
MOCVD 유기금속 기상 성장법. 원료로 유기금속이나 가스를 사용한 결정 성장 방법
Footprint 점유 면적. 여기에서는 장치를 배치했을 때의 사용 면적
압전체 응력을 가함으로써, 분극 (전압)이 발생하는 유전체
초전체 압전체 중에서, 외부로부터 전계를 가하지 않아도 자발적으로 분극하는 것
강유전체 초전체 중에서, 외부로부터의 전계로 인해 분극 방향을 반전시키는 특성을 지닌 것
박막 피에조 압전 재료의 두께가 수 μm정도인 피에조
벌크 피에조 압전 재료의 두께가 수십 μm 이상인 피에조

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다음 페이지에서는 MEMS와 그 주요 기술에 대해 간단하게 설명하겠습니다.

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