박막 피에조 MEMS피에조 관련 용어
피에조 관련 용어
피에조에 관련된 용어에 대한 간단한 설명입니다.
| 용어 | 설명 |
|---|---|
| 피에조 (Piezo) | 압전 소자 (piezoelectric element, piezoelectric device) |
| 압전 효과 | 힘 (압력)을 가함으로써 전압이 발생하는 현상 |
| 역압전 효과 | 전압을 가함으로써, 변형이 나타나는 현상 |
| 압전 소자 | 압전 효과, 역압전 효과를 이용한 부품, 디바이스 |
| 센서 | 과학적 원리를 응용하여, 현상 및 정보 등을 전기 신호 등으로 치환하는 장치 |
| 액추에이터 | 전기 등의 에너지를 기계적인 움직임으로 변환하여, 기기를 동작시키는 구동 장치 |
| 이온 | 전자의 과잉, 또는 결손으로 인해 전하를 띄는 원자 |
| 압전 재료 | 압전성을 나타내는 결정성 물질의 총칭 |
| 압전 단결정 | 압전 재료 중에서, 재료 내부의 결정 구조가 균일하게 연속되어 있는 것 |
| 압전 세라믹스 | 압전체 중에서, 그레인 (Grain) 구조 및 도메인 벽 (Domain Wall) 구조를 지닌 것 |
| 그레인 (Grain) 구조 | 다결정체에서 2개 이상의 작은 결정 사이에 존재하는 계면 |
| 도메인 벽 (Domain Wall) 구조 | 결정 내에 분극 방향이 다른 경계가 존재하는 구조 |
| 분극 | 전장 및 자계 환경에서, (+) (-)의 전화 (電化)가 나타나거나, 자극이 발생하는 현상 |
| PZT | 티탄산 지르콘산 연 (PbZrxTi1-xO3) (0<x<1) |
| 스퍼터링 (Sputtering) | 금속 표면에 높은 에너지 입자를 접촉시켜, 분출되는 원자를 사용한 성막 방법 |
| CSD | 금속의 유기산염 및 화합물의 용액을 도포 · 소성 (焼成 / 베이킹)하여 박막을 형성하는 방법 |
| 졸겔 (Sol-gel) 법 | CSD의 일종. 졸 상태의 액체를 가열하고 소성 (焼成 / 베이킹)하여 박막을 형성하는 방법 |
| 졸 상태 | 액체를 분산매로 하는 콜로이드 (예 : 비눗물, 풀, 달걀 흰자, 우유, 마요네즈 등) |
| 겔 상태 | 졸 상태의 유동성이 없어진 상태 |
| MOCVD | 유기금속 기상 성장법. 원료로 유기금속이나 가스를 사용한 결정 성장 방법 |
| Footprint | 점유 면적. 여기에서는 장치를 배치했을 때의 사용 면적 |
| 압전체 | 응력을 가함으로써, 분극 (전압)이 발생하는 유전체 |
| 초전체 | 압전체 중에서, 외부로부터 전계를 가하지 않아도 자발적으로 분극하는 것 |
| 강유전체 | 초전체 중에서, 외부로부터의 전계로 인해 분극 방향을 반전시키는 특성을 지닌 것 |
| 박막 피에조 | 압전 재료의 두께가 수 μm정도인 피에조 |
| 벌크 피에조 | 압전 재료의 두께가 수십 μm 이상인 피에조 |
로옴 그룹은 고객의 아이디어 및 설계를 실현시키기 위해, 「박막 피에조 MEMS 파운드리 서비스」를 제공하고 있습니다.
다음 페이지에서는 MEMS와 그 주요 기술에 대해 간단하게 설명하겠습니다.
